Piezoelectric resonator

摘要

In einem weiten Bereich von HF-Frequenzen abstimmbarer Dünnfilm-Piezoresonator mit einer Piezoschicht (1) zwischen einer ersten Elektrodenschicht (3) und einer zweiten Elektrodenschicht (4), mit einer dritten Elektrodenschicht (5) und mit einer elektroaktiven Schicht (2) aus einem elektrostriktiven Material, das beim Anlegen einer elektrischen Spannung eine mechanische Deformation erfährt, zwischen der dritten Elektrodenschicht (5) und der zweiten Elektrodenschicht (4). <IMAGE>