发明名称 Device for the production of homogenous microwave plasma
摘要
申请公布号 AU736861(B2) 申请公布日期 2001.08.02
申请号 AU19980080183 申请日期 1998.05.16
申请人 HILDEGARD SUNG-SPITZL 发明人 HILDEGARD SUNG-SPITZL
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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