| 主权项 |
1.一种分析压缩气体中的粒子污染物的系统,此种系统包括了:一部测量气体中粒子污染物的感应器,一部用来控制气体在进入到感应器之前的温度的温度控制器,一部压力平衡器,此压力平衡器包括了:装置在压缩气体供给源和感应器之间的第一个阀;用来将气体引入到系统中的第二个阀;装配在第二个阀的下游处,用来大致除去在源头气体中和/或由上游组分引入的粒子污染物的一部过滤器;装配位过滤器下游处,用来控制经过压平衡而从系统中释出之初期废气的第三个阀;一个位于过滤器和感应器之间的孔洞,它是用来使气体回充到感应器中,直到第一个阀的两侧压力达到平衡;其中该压缩气体是:氮气、氩气、氦气、氯气、氯化氢、氯化硼、溴化氢、六氟化硫(SF6)、四氟化碳、全氟乙烷(C2F6),矽烷(SiH4)、二氯化矽(SiH2Cl2)或是氨气。2.如申请专利范围第1项的系统,更包含有一部装配在第一个阀上的差示压力计,它是被用来判定第一个阀的两侧压力何时达到平衡,这表示气体回充到感应器的过程已经完成。3.如申请专利范围第1项的系统,更包括了一部装配在第三个阀下游处的流量计。4.如申请专利范围第1项系统,更包括了一个位在第一个阀和第二个阀的上游处的清除气体供给源。5.如申请专利范围第4项的系统,其中该清除气体是氮气、氩气或氦气。6.一种分析压缩气体中的粒子污染物的方法,此方法包括:(a)将一个压缩气体的供给源输入到如申请专利范围第1项的系统中,然后,当第一个阀封闭特,使压缩气体流通过第二个阀、过滤器和孔洞,而流通过的时间长度则是要足够长,以便能在第三个阀封闭的情况下,使第一个阀的两侧压力平衡在一个事先决定的压力値下;(b)当第一个阀的两侧压力平衡在事先决定的压力下时,打开第一个阀和第三个阀,使压缩气体能通过孔洞和温度区域;(c)将流通过温度区域的温度保持在一个事先决定的温度値下;(d)在把气体经第三个阀排到系统外之前,先让气体流通过感应器;其中该压缩气体是:氮气、氩气、氦气、氯气、氯化氢、氯化硼、溴化氢、六氟化硫(SF6)、四氟化碳、全氟乙烷(C2F6)、矽烷(SiH4)、二氯化矽(SiH2Cl2)或是氨气。7.如申请专利范围第6项的方法,其中在起初把压缩气体输入到系统中之前,先把一种消洁气体输入到系统中。8.如申请专利范围第7项的方法,其中该清洁气体是氮气、氩气或氦气。9.如申请专利范围第6项的方法,其中该事先决定的温度値就是能除去因分子群聚和气体凝结而形成的粒子的温度。10.一种分析压缩气体中粒子污染物的方法,此种方法包括:(a)将一种压缩气体输入到一个系统中,此系统则包含有一部用来测量气体中的粒子浓度的感应器;(b)使输入气体的压力平衡在一个期望的压力値下,(c)将气体的温度维持在一个较佳的温度値下,和(d)抽取气体的样品来测量其粒子污染物的含量;其中该压缩气体是:氮气、氩气、氦气、氯气、氯化氢、氯化硼、溴化氢、六氟化硫、四氟化碳、全氟乙烷(C2F6)、二氯化矽或氨气。11.如申请专利范围第10项的方法,其中在起初把压缩气体输入到系统中之前,先把一种清洁气体输入到系统中。12.如申请专利范围第11项的方法,其中该清除气体是氮气、氩气或氦气。13.如申请专利范围第10项的方法,其中该较佳的温度値是能除去因分子群聚和气体凝结而形成的粒子的温度。14.一种决定分析在特定压力下的压缩气体之粒子污染物含量时的理想温度的方法,此方法包括:让一种在第一个压力和第一个温度下的压缩气体供给源先通过一部过滤器,然后再进入到一部粒子感应器中;监测气体中的粒子数目;在监测粒子数目的同时,逐步地提高温度,一直到粒子数目接近最小値时才停止,而其中在第一个压力下的理想温度,就是粒子数目达到最小値时的温度。其中该压缩气体是:氮气、氩气、氦气、氯气、氯化氢、氯化硼、溴化氢、六氟化硫(SF6)、四氟化碳、全氟乙烷(C2F6)、矽烷、二氯化矽或是氨气。15.如申请专利范围第14项的方法,其中在起初把压缩气体输入到系统之前,先输入一种清洁气体。16.如申请专利范围第14项的方法,更包括了:输入一种在第二个压力下的一种压缩气体供给源;监测气体中的粒子数;以及在监测粒子数的同时,逐步地提高温度,一直到粒子数目接近最小値时才停止,其中在第二个压力下的理想温度是粒子数达到最小时的温度。17.如申请专利范围第16项的方法,其中第一个压力比第二个压力小。图式简单说明:第一图所图示的是在粒子计数器上游有和没有装置一部粒子过滤器的情况下,在钢瓶全压力下之四氟化碳粒子浓度与时间之间的关系;第二图是本发明系统的一个流程图;第三图所图示的是在有和没有温度控制的情况下,在钢瓶全压力下的四氟化碳粒子浓度与时间的关系;第四图所图示的是在室温和45℃下,四种样品的四氟化碳粒子浓度之间的关系;第五图所图示的是有和没有温度控制的情况下,在钢瓶全压力下之氯化氢粒子浓度与时间的关系;第六图是用来决定一种个别气体的理想温度之本发明系统的流程图。 |
