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发明名称 DISTRIBUTED CONTROL SYSTEM FOR A SEMICONDUCTOR WAFER PROCESSING MACHINE
摘要
申请公布号 KR20010071452(A) 申请公布日期 2001.07.28
申请号 KR1020007014060 申请日期 2000.12.11
申请人 发明人
分类号 G05B19/414 主分类号 G05B19/414
代理机构 代理人
主权项
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