| 发明名称 |
PROCEDE DE DEPOT D'UN MATERIAU DIELECTRIQUE A BASE DE SILICIUM SUR DU CUIVRE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2795746(B1) |
申请公布日期 |
2001.07.27 |
| 申请号 |
FR19990008474 |
申请日期 |
1999.07.01 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
MOTTE PASCALE;TORRES JOAQUIM;DESCOUTS BRIGITTE;PALLEAU JEAN |
| 分类号 |
C23C16/02;C23C16/34;H01L21/314;H01L21/768;(IPC1-7):C23C16/30;H01L21/285;C23C16/32;C23C16/42 |
主分类号 |
C23C16/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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