STANDARD ZUR KALIBRIERUNG UND ÜBERPRÜFUNG EINES OBERFLÄCHENINSPEKTIONS-GERÄTES UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES STANDARDS,申请号DE19985000848-传众专利搜索

发明名称	STANDARD ZUR KALIBRIERUNG UND ÜBERPRÜFUNG EINES OBERFLÄCHENINSPEKTIONS-GERÄTES UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DES STANDARDS
摘要
申请公布号	DE59800848(D1)	申请公布日期	2001.07.19
申请号	DE19985000848	申请日期	1998.03.06
申请人	WACKER SILTRONIC GESELLSCHAFT FUER HALBLEITERMATERIALIEN AG	发明人	SCHMOLKE, RUEDIGER;GERBER, HANS-ADOLF;GRAEF, DIETER;KERSCHREITER, ROBERT;LUGER, ANTON;SUHREN, MONIQUE
分类号	G01N21/88;(IPC1-7):G01N21/88	主分类号	G01N21/88
代理机构		代理人
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