发明名称 METHOD AND DEVICE FOR PRE-TREATMENT OF SUBSTRATES
摘要
申请公布号 EP0867036(B1) 申请公布日期 2001.07.18
申请号 EP19960939061 申请日期 1996.11.15
申请人 FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER 发明人 GOEDICKE, KLAUS;FIETZKE, FRED;RESCHKE, JONATHAN;HEMPEL, WOLFGANG;SCHEFFEL, BERT;METZNER, CHRISTOPH;SCHILLER, SIEGFRIED
分类号 C23C14/02;H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32;C23C14/35 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
主权项
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