发明名称 光程分割型紫外线照射装置
摘要 一种光程分割型紫外线照射装置,系提供可以良好辐射度分布,高平均辐射度之热对于容易产生变形、变色等工件处理用之紫外线照射装置。其解决方法为,从棒状灯管l放出而以拱状冷反射镜2反射的光入射于冷反射镜所构成的第l光分割镜5、5’而予以二分割后,入射至全反射镜4、4’内。另一方面,从棒状灯管l放出之直接光系入射至冷反射镜所构成之第2光分割镜6、6’予以二分割后,入射于全反射镜4、4'内。藉着全反射镜4、4’之反射光入射至冷滤光片3、3'内,使穿透冷滤光片3、3’的光照射在工件W上。使工件W上二分割之光形成部份重叠照射而可提高辐射度分布。此外,也可以变更上述第2之光分割镜6、6’,使用遮蔽构件。
申请公布号 TW445203 申请公布日期 2001.07.11
申请号 TW087102356 申请日期 1998.02.19
申请人 牛尾电机股份有限公司 发明人 诸石光太郎;林太郎
分类号 B29C35/00 主分类号 B29C35/00
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种光程分割型紫外线照射装置,其特征为,具备:棒形灯管;与棒形灯管纵向平行配置,而反射一部份之棒形灯管放射光之拱形冷反射镜;至少2片冷反射镜所构成,可将上述棒形灯管所放出的光予以二分割,使二分割后的光分别朝着不同方向反射之光程分割镜;分别使上述光程分割镜二分割后的光反射之2片全反射镜;及,可穿透上述全反射镜所反射光之冷滤光片等,配置上述之光程分割镜,全反射镜及冷滤光片使上述棒形灯管所放出的光中,仅光程分割镜二分割后穿透冷滤光片的光部份重叠在光照射面上照射者。2.如申请专利范围第1项之光程分割型紫外线照射装置,其中配置不致使棒形灯管放出的光直接照射在冷光滤片上之遮蔽板。3.如申请专利范围第2项之光程分割型紫外线照射装置,其中上述之遮蔽板也可以使用反射板,可将入射至该反射板的光朝拱状冷反射镜方向反射者。4.如申请专利范围第3项之光程分割型紫外线照射装置,其中系以棒形灯管之大致的管轴为中心形成圆弧形之上述反射板。5.如申请专利范围第1项之光程分割型紫外线照射装置,其中光程分割镜系将棒形灯管放出而以拱状冷反射镜所反射的光二分割后,使光程分割互相朝着不同的方向反射之第1光程分割镜,及二分割直接从棒形灯管放出的光而互相朝着不同的方向反射之第2光程分割镜等所构成。全反射镜系配置可以上述第1光程分割镜及第2光程分割镜反射光者。6.如申请专利范围第1项之光程分割型紫外线照射装置,其中于拱状冷反射镜上设置通风道,可藉该通风道流入之冷却风至少冷却棒形灯管、拱状冷反射镜、光程分割镜及冷滤光片。7.如申请专利范围第6项之光程分割型紫外线照射装置,其中在光程分割的里侧安装遮蔽构件而藉光分割镜与遮蔽构件形成通风道,使冷却风流动于该通风道内可冷却光程分割镜者。图式简单说明:第一图是表示本发明第1实施例之紫外线照射装置之构成图。第二图是表示本发明第1实施例之紫外线照射装置之构成图。第三图是表示冷反射镜之光谱反射率之一例图。第四图是表示冷光滤片之光谱透射率之一例图。第五图为说明第1实施例之紫外线照射装置之光程图。第六图是表示第1实施例之照射领域上的辐射度分布图。第七图是表示第2实施例之图。第八图是表示第3实施例之图。第九图系表示习知例图。
地址 日本