真空镀膜中电阻加热式蒸发舟活动电极

摘要

本实用新型是在真空镀膜系统中用电阻加热式蒸发舟的电极,特别是涉及一种对于需要多次加料的电阻蒸发舟支持电极的改进。包括:电极柱、法兰、螺钉、电极连板、电极夹板、蒸发舟、轴、导线、转动电极连板和固定电极连板。它的转动电极可避免由于固定式电极在通电加热后,以及蒸发舟在上下装卸的过程中,由于应力的作用引起蒸发舟材料的折断,从而提高蒸发舟的使用寿命。在蒸发的升温和降温整个过程中不发生反复的弯折现象,达到延长使用寿命的目的。

主权项

1、真空镀膜中电阻加热式蒸发舟活动电极，它包括在外部真空室14中安置电极柱1、绝缘密封法兰2、螺钉3、电极连板4、电极夹板5、蒸发舟6及底台11，蒸发舟6的两端对称安置电极柱1、绝缘密封法兰2、螺钉3、电极夹板5，两个绝缘密封法兰2将两个电极柱1密封在外部真空室14的底台11上，一个螺钉3将电极连板4和一个电极柱1固定连接为一体，其特征在于：它还包括在外部真空室14中安置转动轴7、导线8、转动电极连板9和固定电极连板10，固定电极连板10的一端和一个电极柱1用一个螺钉3固定连接，转动轴7与转动电极连板9一端和固定电极连板10的另一端为转动连接，导线8与转动电极连板9和固定电极连板10连接，电极连板9的夹子端与蒸发舟6的一端连接。