发明名称 |
Anordnung zum Testen einer Vielzahl von Halbleiterchips |
摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Testen einer Vielzahl von Halbleiterchips hinsichtlich kritischer Parameter, bei der auf den Halbleiterchips (1) eines Halbleiterwafers zusätzlich wenigstens ein Optionspad (4) vorgesehen ist, mit dem ein Testprogramm zum Aussondern derjenigen Halbleiterchips (1) anlegbar ist, die nicht vorgegebenen Forderungen für kritische Parameter entsprechen. |
申请公布号 |
DE19962677(A1) |
申请公布日期 |
2001.07.05 |
申请号 |
DE1999162677 |
申请日期 |
1999.12.23 |
申请人 |
INFINEON TECHNOLOGIES AG |
发明人 |
FEURLE, ROBERT ROBERT;SAVIGNAC, DOMINIQUE |
分类号 |
G01R31/28;G01R31/3185;G11C11/401;G11C29/56;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01R31/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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