发明名称 Anordnung zum Testen einer Vielzahl von Halbleiterchips
摘要 Die Erfindung betrifft eine Anordnung zum Testen einer Vielzahl von Halbleiterchips hinsichtlich kritischer Parameter, bei der auf den Halbleiterchips (1) eines Halbleiterwafers zusätzlich wenigstens ein Optionspad (4) vorgesehen ist, mit dem ein Testprogramm zum Aussondern derjenigen Halbleiterchips (1) anlegbar ist, die nicht vorgegebenen Forderungen für kritische Parameter entsprechen.
申请公布号 DE19962677(A1) 申请公布日期 2001.07.05
申请号 DE1999162677 申请日期 1999.12.23
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 FEURLE, ROBERT ROBERT;SAVIGNAC, DOMINIQUE
分类号 G01R31/28;G01R31/3185;G11C11/401;G11C29/56;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01R31/28
代理机构 代理人
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