Verfahren zum Betreiben einer Elektronenkanone

摘要

Die Erfindung betrifft Elektronenkanonen vom Axialtyp mit differentieller Pumpeinrichtung zur Druckentkopplung der Strahlerzeugungskammer von der Prozeßkammer. Derartige Elektronenkanonen werden für das Schmelzen, Verdampfen, Schweißen und Bearbeiten im Vakuum eingesetzt. DOLLAR A Das Druckgefälle zwischen Prozeß- und Strahlerzeugungskammer hat zur Folge, daß außer der Gasströmung von der Prozeß- zur Strahlerzeugungskammer auch kondensierbare Dämpfe des Prozeßmaterials in die Strahlerzeugungskammer transportiert werden. Bei leitfähigen Niederschlägen kommt es zur Ausbildung von Nebenschlüssen zwischen Hochspannung führenden Teilen, bei nichtleitenden zu Isolationsschichten zwischen Kontaktflächen. Erfindungsgemäß wird die Strahlerzeugungskammer mit einer Gaseinlaßvorrichtung verbunden, mit deren Hilfe der Druck in der Strahlerzeugungskammer auf konstante Werte eingestellt werden kann, nach einem Überschlag kurzzeitig abgesenkt und anschließend wieder langsam auf den ursprünglichen Einstellwert angehoben wird. DOLLAR A Die hauptsächlichen Anwendungsgebiete der Erfindung sind das Bedampfen von Substraten mit hoher Geschwindigkeit oder das Schmelzen von Blöcken mit hoher Oberflächengüte.