发明名称 Mikromanipulator
摘要
申请公布号 DE19935570(C2) 申请公布日期 2001.07.05
申请号 DE1999135570 申请日期 1999.07.30
申请人 FORSCHUNGSZENTRUM JUELICH GMBH 发明人 MICHELY, THOMAS;ROST, MARCEL;KAISER, MARKUS
分类号 B23Q1/34;B25J7/00;G01Q10/04;G01Q20/04;G01Q30/18;G01Q30/20;G01Q60/24;H01L41/09;H02N2/00;(IPC1-7):B25J7/00;G12B21/20 主分类号 B23Q1/34
代理机构 代理人
主权项
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