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发明名称 Solid material delivery system for a furnace
摘要
申请公布号 EP0771891(B1) 申请公布日期 2001.07.04
申请号 EP19960307563 申请日期 1996.10.17
申请人 MEMC ELECTRONIC MATERIALS, INC. 发明人 WILLIAMS, DICK S.;LUTER, WILLIAM L.
分类号 C30B15/02;C30B29/06;C30B35/00;F27B14/16;H01L21/208;(IPC1-7):C30B15/02 主分类号 C30B15/02
代理机构 代理人
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