| 主权项 |
1.一种晶圆载入设备之晶圆对应方法,用以对应复数个晶圆,该晶圆对应方法至少包括:产生一位置类型讯号,其中该位置类型讯号是由驱动该晶圆载入设备之一面板上下移动之驱动系统所产生,且该位置类型讯号系相对于承载该些晶圆之一晶圆盒内之复数个插槽;使用两个光感测器,产生一光感测器类型讯号;以及以该位置类型讯号与该光感测器类型讯号,进行一特征萃取过程,其中该特征萃取过程包括使用一特征萃取电路以分别产生一斜片特征讯号与一叠片特征讯号。2.如申请专利范围第1项之晶圆载入设备之晶圆对应方法,其中每一个该些插槽均有固定相对之一脉冲讯号。3.如申请专利范围第1项之晶圆载入设备之晶圆对应方法,其中上述之两个光感测器系位于该面板上。4.如申请专利范围第1项之晶圆载入设备之晶圆对应方法,其中上述之两个光感测器系反射式感测器。5.如申请专利范围第1项之晶圆载入设备之晶圆对应方法,其中上述之驱动系统系为伺服马达。6.如申请专利范围第1项之晶圆载入设备之晶圆对应方法,其中该特征萃取过程更包括使用一讯号转换电路以分别转换该斜片特征讯号与该叠片特征讯号为一斜片讯号与一叠片讯号。7.如申请专利范围第1项之晶圆载入设备之晶圆对应方法,其中该特征萃取过程更包括使用一单晶片处理器配合程式运算以分别转换该斜片特征讯号与该叠片特征讯号为一斜片讯号与一叠片讯号。8.如申请专利范围第6项之晶圆载入设备之晶圆对应方法,其中该特征萃取过程中若该斜片特征讯号与该叠片特征讯号均出现脉冲时,则该讯号转换电路可使得输出之该斜片讯号之値为1且该叠片讯号之値为0,藉以显示出一斜片问题。9.如申请专利范围第6项之晶圆载入设备之晶圆对应方法,其中若该斜片讯号之値为0,而该叠片讯号之値为1,则表示出现一叠片问题。10.如申请专利范围第6项之晶圆载入设备之晶圆对应方法,其中若该位置类型讯号之脉冲出现时并无相对之光感测器类型讯号之脉冲出现,则表示产生一空片问题。图式简单说明:第一图系绘示传统晶圆载入设备之侧视图;第二图系绘示传统晶圆载入设备之后视图;第三图系绘示依据本发明较佳实施例之一种晶圆载入设备之立体图;第四围系绘示依据本发明较佳实施例之一种晶圆载入设备之侧视图;第五图系绘示依据本发明较佳实施例之一种晶圆载入设备之光感测器之示意图;第六图系绘示依据本发明较佳实施例之特征萃取电路图;第七图系绘示依据本发明较佳实施例之讯号转换电路图;第八图系绘示依据本发明较佳实施例之正常情况下,也就是没有空片、斜片或叠片问题之讯号时序图;第九图系绘示依据本发明较佳实施例之有空片情况下之讯号时序图;第十图系绘示依据本发明较佳实施例之有斜片情况下之讯号时序图;以及第十一图系绘示依据本发明较佳实施例之有叠片情况下之讯号时序图。 |
