发明名称 压电振动元件
摘要 本发明为关于利用在通信机器等使用之厚度滑动系统振动之压电振动元件,更详细者为:例如关于抑制一般非谐和谐波模式等之不需要的振动之寄生振动之影响,使保证衰减量特性良好之压电振动元件。系利用在通信机器等使用之厚度滑动系统振动之压电振动元件。压电振动元件为:在输入电极(21)以及输出电极(22)或共通电极(23)之外周附近之至少一部分,而且,非谐和谐波模式比较强被激振部份设重量减轻部(231,232)或重量加重部。又,对于输入电极(21)与输出电极(22)之总面积,使共通电极(23)之面积大,重量减轻部或重量加重部(231,232)及于与输入电极(21)以及输出电极(22)相向之共通电极(23)部分。此处,将形成于水晶板(1)之一方之主面之共通电极之厚度,最好做成为形成在他方之主面之输入电极(21)以及输出电极(22)之厚度之2倍~10倍。这些之材料使用以银、金或金或银为主成分之金属。介经如此,发生在主振动附近之寄生振动模式被抑制,成为通过频带特性良好,而且,为广频带之同时,通过频带外之保证衰减量特性良好之压电振动元件。
申请公布号 TW441174 申请公布日期 2001.06.16
申请号 TW086110409 申请日期 1997.07.22
申请人 大真空股份有限公司 发明人 有村博之
分类号 H03H9/00 主分类号 H03H9/00
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼
主权项 1.一种压电振动元件,系使用在水晶板之一方之主面上,输入电极与输出电极以规定之间隔接近而形成,而且,在此水晶板之他方之主面上,设置对应该输入电极与输出电极之共通电极,使用介经这些之电极形成共振领域之厚度系统振动之压电振动元件,其特征为:在上述输入电极以及输出电极或共通电极之外周附近之至少一部分,设置重量减轻部或重量加重部。2.如申请专利范围第1项所述之压电振动元件,其中上述重量减轻部或重量加重部设置在该压电振动元件之激振时展现之寄生振动之振动能量较主振动相对高之部份。3.如申请专利范围第1项所述之压电振动元件,其中上述各电极矩形状地形成之同时,上述重量减轻部或重量加重部设置于上述输入电极与输出电极互相相对之较远边之中央部之至少1个地方,或共通电极之相向较远边之中央部之至少1个地方,或上述电极或输出电极之上述较远边之中央部之其中之一与上述共通电极之上述较远边之中央部之至少1个地方。4.如申请专利范围第1项所述之压电振动元件,其中上述重量减轻部为形成切口部之构造。5.如申请专利范围第1项所述之压电振动元件,其中上述重量减轻部可以介经将上述电极之规定地方之该当电极全部或一部分去除而形成之凹部而构成。6.如申请专利范围第1项所述之压电振动元件,其中上述重量加重部可以为上述电极之一部分或全体厚肉的形成之构造,或树脂材料加重于上述电极之一部份或全体而构成。7.如申请专利范围第1项所述之压电振动元件,其中对于上述输入电极与输出电极之总面积,上述共通电极之面积大大地形成之同时。在其之共通电极之外周附近之至少一部分设置重量减轻部或重量加重部,该重量减轻部或重量加重部可以及于和上述输入电极与输出电极相向之该共通电极部份之构成。8.如申请专利范围第1项所述之压电振动元件,其中形成在晶板之哪一个之主面上之电极系厚肉的形成之构成。9.如申请专利范围第1项所述之压电振动元件,其中形成在上述水晶板之一方之主面上之共通电极之厚度,为形成在他方之主面之输入电极以及输出电极之厚度之2倍至10倍之范围。10.如申请专利范围第1项所述之压电振动元件,其中形成在上述水晶板之哪一个之主面之电极,为以金或银为主成分之金属,或由金或银形成。11.一种压电振动元件,系使用在水晶板之一方之主面上,输入电极与输出电极以及介于这些之电极间之接地电极以规定之间隔接近而形成,而且,在此水晶板之他方之主面上设置对应这些电极之共通电极,介经这些之电极形成共振领域之厚度滑动系统振动之压电振动元件,其特征为:在上述输入电极以及输出电极或共通电极之外周附近之至少一部分,设置重量减轻部或重量加重部。12.如申请专利范围第11项所述之压电振动元件,其中上述重量减轻部或重量加重部设置在该压电振动元件之激振时展现之寄生振动之振动能量较主振动相对高之部份。13.如申请专利范围第11项所述之压电振动元件,其中上述各电极矩形状地形成之同时,上述重量减轻部或重量加重部设置于上述输入电极与输出电极互相相对之较远边之中央部之至少1个地方,或共通电极之相向较远边之中央部之至少1个地方,或上述电极或输出电极之上述较远边之中央部之其中之一与上述共通电极之上述较远边之中央部之至少1个地方。14.如申请专利范围第11项所述之压电振动元件,其中上述重量减轻部为形成切口部之构造。15.如申请专利范围第11项所述之压电振动元件,其中上述重量减轻部可以介经将上述电极之规定地方之该当电极全部或一部分去除而形成之凹部而构成。16.如申请专利范围第11项所述之压电振动元件,其中上述重量加重部可以为上述电极之一部分或全体厚肉的形成之构造,或树脂材料加重于上述电极之一部份或全体而构成。17.如申请专利范围第11项所述之压电振动元件,其中对于上述输入电极与输出电极之总面积,上述共通电极之面积大大地形成之同时,在其之共通电极之外周附近之至少一部分设置重量减轻部或重量加重部,该重量减轻部或重量加重部可以及于和上述输入电极与输出电极相向之该共通电极部份之构成。18.如申请专利范围第11项所述之压电振动元件,其中形成在上述水晶板之哪一个之主面上之电极系厚肉的形成之构成。19.如申请专利范围第11项所述之压电振动元件,其中形成在上述水晶板之一方之主面上之共通电极之厚度,为形成在他方之正面之输入电极以及输出电极之厚度之2倍至10倍之范围。20.如申请专利范围第11项所述之压电振动元件,其中形成在上述水晶板之哪一个之主面上之电极,为以金或银为主成分之金属,或由金或银形成。21.一种压电振动元件,系使用在水晶板之一方之主面上,输入电极与输出电极以规定之间隔接近而形成输入输出电极对,2组并联而形成,而且,在此水晶板之他方之主面上,分别设置对应于各输入输出电极之共通电极,介经这些2组之输入输出电极对以及共通电极以形成共振领域之厚度系统振动之压电振动元件,其特征为:在上述输入电极以及输出电极或共通电极之外周附近之至少一部分,设置重量减轻部或重量加重部。22.如申请专利范围第21项所述之压电振动元件,其中上述重量减轻部或重量加重部设置在该压电振动元件之激振时展现之寄生振动之振动能量较主振动相对高之部份。23.如申请专利范围第21项所述之压电振动元件,其中上述各电极矩形状地形成之同时,上述重量减轻部或重量加重部设置于上述输入电极与输出电极互相相对之较远边之中央部之至少1个地方,或共通电极之相向较远边之中央部之至少1个地方,或上述电极或输出电极之上述较远边之中央部之其中之一与上述共通电极之上述较远边之中央部之至少1个地方。24.如申请专利范围第21项所述之压电振动元件,其中上述重量减轻部为形成切口部之构造。25.如申请专利范围第21项所述之压电振动元件,其中上述重量减轻部可以介经将上述电极之规定地方之该当电极全部或一部分去除而形成之凹部而构成。26.如申请专利范围第21项所述之压电振动元件,其中上述重量加重部可以为上述电极之一部分或全体厚肉的形成之构造,或树脂材料加重于上述电极之一部分或全体而构成。27.如申请专利范围第21项所述之压电振动元件,其中对于上述输入电极与输出电极之总面积,上述共通电极之面积大大地形成之同时,在其之共通电极之外周附近之至少一部分设置重量减轻部或重量加重部,该重量减轻部或重量加重部可以及于和上述输入电极与输出电极相向之该共通电极部份之构成。28.如申请专利范围第21项所述之压电振动元件,其中形成在上述水晶板之哪一个之主面上之电极系厚肉的形成之构成。29.如申请专利范围第21项所述之压电振动元件,其中形成在上述水晶板之一方之主面上之共通电极之厚度,为形成在他方之主面之输入电极以及输出电极之厚度之2倍至10倍之范围。30.如申请专利范围第21项所述之压电振动元件,其中形成在上述水晶板之哪一个之主面上之电极,为以金或银为主成分之金属,或由金或银形成。31.如申请专利范围第2项、第12项或第22项所述之压电振动元件,其中上述各电极矩形状地形成之同时,上述重量减轻部或重量加重部设置于上述输入电极与输出电极互相相对之较远边之中央部之至少1个地方,或共通电极之相向较远边之中央部之至少1个地方,或上述电极或输出电极之上述较远边之中央部之其中之一与上述共通电极之上述较远边之中央部之至少1个地方。32.如申请专利范围第2项、第3项、第12项、第13项、第22项或第23项所述之压电振动元件,其中上述重量减轻部为形成切口部之构造。33.如申请专利范围第2项、第3项、第12项第13项、第22项或第23项所述之压电振动元件,其中上述重量减轻部可以介经将上述电极之规定地方之该当电极全部或一部分去除而形成之凹部而构成。34.如申请专利范围第2项、第3项、第12项、第13项、第22项或第23项所述之压电振动元件,其中上述重量加重部可以为上述电极之一部分或全体厚肉的形成之构造,或树脂材料加重于上述电极之一部份或全体而构成。35.如申请专利范围第2项、第3项、第5项、第6项、第12项、第13项、第15项、第16项、第22项、第23项、第25项或第26项所述之压电振动元件,其中对于上述输入电极与输出电极之总面积,上述共通电极之面积大大地形成之同时,在其之共通电极之外周附近之至少一部分设置重量减轻部或重量加重部,该重量减轻部或重量加重部可以及于和上述输入电极与输出电极相向之该共通电极部份之构成。36.如申请专利范围第2项、第3项、第4项、第5项、第6项、第7项、第12项、第13项、第14项、第15项、第16项、第17项、第22项、第23项、第24项、第25项、第26项或第27项所述之压电振动元件,其中形成在水晶板之哪一个之主面上之电极系厚肉的形成之构成。37.如申请专利范围第2项、第3项、第4项、第5项、第6项、第7项、第8项、第12项、第13项、第14项、第15项、第16项、第17项、第18项、第22项、第23项、第24项、第25项、第26项、第27项或第28项所述之压电振动元件,其中形成在上述水晶板之一方之正面上之共通电极之厚度,为形成在他方之主面之输入电极以及输出电极之厚度之2倍至10倍之范围。38.如申请专利范围第2项、第3项、第4项、第5项、第6项、第7项、第8项、第9项、第12项、第13项、第14项、第15项、第16项、第17项、第18项、第19项、第22项、第23项、第24项、第25项、第26项、第27项、第28项或第29项所述之压电振动元件,其中形成在上述水晶板之哪一个之主面上之电极,为以金或银为主成分之金属,或由金或银形成。图式简单说明:第一图为关于本发明之适合的压电振动元件之单片的(monolithic)水晶滤波器之第1之实施型态之共通电极侧之主面之平面图,第二图为第一图只A-A剖面面,第三图为第一图之B-B剖面图。第四图为本发明之第2之实施型态之共通电极侧之主面之平面图。第五图为本发明之第3之实施型态之共通电极侧之主面之平面图,第六图为第五图之C-C剖面图。第七图表示本发明之第4之实施型态之剖面图。第八图为本发明之第5之实施型态之共通电极侧之主面之平面图。第九图为第八图之D-D剖面图,第十图为第八图之E-E剖面图。第十一图表示适用于各实施型态之电极之厚度之图。第十二图为表示第一图所示之第1之实施型态之周波数特性图,第十三图表示第五图所示之第5之实施型态之周波数特性图。第十四图为表示第5之实施型态之变形例之共通电极侧之主面之平面图,第十五图为表示第十四图所示之第5之实施型态之变形例之周波数特性图。第十六图为本发明之第6之实施型态之共通电极侧之主面之平面图,第十七图表示第十六图所示之第6之实施型态之周波数特性图。第十八图为表示第6之实施型态之变形例之共通电极侧之主面之平面图,第十九图为表示第十八图所示之第6之实施型态之变形例之周波数特性图。第二十图为表示第6之实施型态之另一个变形例之共通电极侧之主面之平面图。第二十一图为表示在获得介经电极材料之周波数特性之际,使用之压电振动元件之电极构成之共通电极侧之主面之平面图,第二十二图表示第二十一图之电极构成以铝为电极材料之场合之周波数特性图,第二十三图表示第二十一图之电极构成以银为电极材料之场合之周波数特性图。第二十四图表示对于电极材料以铬-银-铬之多层构造为之,分割电极之厚度为500,主振动周波数为130 MHz之场合之共通电极之厚度之保证衰减量之特性图,第二十五图表示对于电极材料以铬-银-铬之多层构造为之,分割电极之厚度为500,主振动周波数为130 MHz之场合共通电极之厚度之插入损失之特性图。第二十六图表示对于电极材料同样以铬-银-铬之多层构造为之,分割电极之厚度为500,主振动周波数为45 MHz之场合之相对于共通电极厚度之保证衰减量之特性图。第二十七图表示对于电极材料以铬-银-铬之多层构造为之,分割电极之厚度为500,主振动周波数为45 MHz之场合之共通电极之厚度之插入损失之特性图。第二十八图为第7之实施型态之共通电极侧之主面之平面图,第二十九图为第8之实施型态之共通电极侧之主面之平面图。第三十图为使用于压电振动元件之周波数特性之测定之组件之分解斜视图。第三十一图为先前之压电振动元件之共通电极侧之主面之平面图,第三十二图为第三十一图之S-S剖面图。
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