| 摘要 |
<p>Die Erfindung schafft eine mikromechanische Struktur, insbesondere für einen Beschleunigungssensor, mit: einem Substrat (1), welches eine Verankerungseinrichtung aufweist; und einer Schwungmasse (5), die über eine Biegefedereinrichtung (4a-d) mit der Verankerungseinrichtung verbunden ist, so dass die Schwungmasse (5) elastisch aus ihrer Ruhelage auslenkbar ist. Die Schwungmasse (5) weist eine längliche konvexe Form auf und ist im wesentlichen zur Längsachse (L) rotationssymmetrisch. Die Schwungmasse (5) weist optionellerweise an den beiden Längsenden eine Verbreiterung (5a, 5b) auf, woran die Biegefedereinrichtung (4a-d) angebracht ist.</p> |
