摘要 |
Strahlungsempfindliche Zusammensetzungen, enthaltend DOLLAR A (a1) eine kationisch oder säurekatalytisch polymerisierbare oder vernetzbare Verbindung oder DOLLAR A (a2) eine Verbindung, die unter der Einwirkung von Säure in einem Entwickler ihre Löslichkeit erhöht und DOLLAR A (b) mindestens ein Diaryliodoniumsalz der Formel I DOLLAR F1, worin DOLLAR A X für verzweigtes C¶3¶-C¶20¶-Alkyl oder C¶3¶-C¶8¶-Cycloalkyl steht; DOLLAR A X¶1¶ Wasserstoff, lineares C¶1¶-C¶20¶-Alkyl, verzweigtes C¶3¶-C¶20¶-Alkyl oder C¶3¶-C¶8¶-Cycloalkyl darstellt; DOLLAR A mit der Maßgabe, dass die Summe der Kohlenstoffatome in X und X¶1¶ mindestens 4 beträgt; DOLLAR A Y lineares C¶1¶-C¶10¶-Alkyl, verzweigtes C¶3¶-C¶10¶-Alkyl oder C¶3¶-C¶8¶-Cycloalkyl ist; DOLLAR A A·-· ein nichtnukleophiles Anion, ausgewählt aus der Gruppe (BF¶4¶)·-·, (SbF¶6¶)·-·, (PF¶6¶)·-·, (B(C¶6¶F¶5¶))·-·, C¶1¶-C¶20¶-Alkylsulfonat, C¶2¶-C¶20¶-Haloalkylsulfonat, unsubstituiertes C¶6¶-C¶10¶-Arylsulfonat, Camphersulfonat, und, mit Halogen, NO¶2¶, C¶1¶-C¶12¶-Alkyl, C¶1¶-C¶10¶-Halogenalkyl, C¶1¶-C¶12¶-Alkoxy oder COOR¶1¶ substituiertes C¶6¶-C¶10¶-Arylsulfonat, darstellt; und DOLLAR A R¶1¶ C¶1¶-C¶20¶-Alkyl, Phenyl, Benzyl; oder ein- oder mehrmals mit C¶1¶-C¶12¶-Alkyl, C¶1¶-C¶12¶-Alkoxy oder Halogen substituiertes Phenyl bedeutet; DOLLAR A mit der Maßgabe, dass die beiden Phenylringe am Iodatom nicht gleich substituiert sind, besitzen hohe Empfindlichkeit, hohe Lagerstabilität, gute Löslichkeit und geringe Kristallisationsneigung.
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申请人 |
CIBA SPECIALTY CHEMICALS HOLDING INC., BASEL |
发明人 |
SCHULZ, REINHARD;BIRBAUM, JEAN-LUC;WOLF, JEAN-PIERRE;ILG, STEPHAN;YAMATO, HITOSHI;ASAKURA, TOSHIKAGE |