| 发明名称 |
PROCEDE DE FABRICATION DE DISPOSITIFS EN COUCHES MINCES UTILISANT LA TECHNIQUE DE LA REFLECTANCE ANISOTROPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2771850(B1) |
申请公布日期 |
2001.06.08 |
| 申请号 |
FR19970015150 |
申请日期 |
1997.12.02 |
| 申请人 |
FRANCE TELECOM |
发明人 |
VALLON SOPHIE;JOUBERT OLIVIER;VALLIER LAURENT |
| 分类号 |
C23C14/54;G01B11/06;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
C23C14/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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