Bei einem Verfahren zur Metallisierung von Dielektrika wird auf ein Substrat ein photoempfindliches Dielektrikum aufgebracht, dann wird das Dielektrikum durch eine Maske belichtet, mit einem Metall bekeimt und einer Temperaturbehandlung unterworfen, und anschliessend wird das Dielektrikum chemisch metallisiert. Alternativ kann das Dielektrikum - nach dem Aufbringen auf das Substrat - zuerst mit einem Metall bekeimt und dann durch eine Maske belichtet werden; anschliessend wird überschüssiges Bekeimungsmaterial entfernt und das Dielektrikum chemisch metallisiert.
