| 主权项 |
1.一种工厂自动化资料管理系统,至少包含:一中央主机,用以控制复数个生产设备之动作;复数个生产设备,用以执行生产制造之流程动作;复数个资料管理设备,每一个该资料管理设备分别对应于每一个该生产设备,该资料管理设备连接于该生产设备与该中央主机之间,用以控制及过滤该生产设备与该中央主机间之资料传递,并记录该生产设备之事件记录及制程资料。2.如申请专利范围第1项之资料管理系统,其中上述之资料管理设备并可与该生产设备之周边支援系统相连结,以监控该周边支援系统之状态。3.如申请专利范围第2项之资料管理系统,其中上述之周边支援系统至少包含气体供应系统、制程所需之液体供应系统、以及温度控制系统其中之一或其组合。4.如申请专利范围第1项之资料管理系统,其中上述之资料管理设备至少包含:资料记录装置,用以记录该生产设备与该中央主机间传递之资料、以及该生产设备之事件记录及制程资料;以及处理装置,该处理装置与该资料记录装置相连接,包含资料选择装置及优先顺序控制装置,该资料选择装置用以过滤事件记录及制程资料,以将不必要之资料缓冲、并将必要资料传递至该中央主机;该优先顺序控制装置用以决定该生产设备与该中央主机间交谈讯息之优先顺序、并控制复数个指令与回应之传递顺序与时机。5.如申请专利范围第4项之资料管理系统,其中上述之处理装置更包含一资料格式转换装置,用以转换不同通讯标准之资料。6.如申请专利范围第4项之资料管理系统,其中上述之资料管理设备更包含一显示装置与该处理装置相连,用以显示操作资讯。7.如申请专利范围第6项之资料管理系统,其中上述之处理装置并与该显示装置相配合,以显示监控事件记录及制程资料及图表。8.如申请专利范围第1项之资料管理系统,其中上述之该生产设备至少包含半导体制程反应机台。9.如申请专利范围第1项之资料管理系统,其中上述之该生产设备与该中央主机间系以半导体设备通讯标准相互传递资料。10.一种工厂自动化资料管理系统,至少包含:一中央主机,用以控制复数个生产设备之动作;复数个生产设备,用以执行生产制造之流程动作;复数个资料管理设备,每一个该资料管理设备分别对应于每一个该生产设备,该资料管理设备连接于该生产设备与该中央主机之间,用以控制及过滤该生产设备与该中央主机间之资料传递,并记录该生产设备之事件记录及制程资料,上述之资料管理设备至少包含:资料记录装置,用以记录该生产设备与该中央主机间传递之资料、以及该生产设备之事件记录及制程资料;以及处理装置,该处理装置与该资料记录装置相连接,包含资料选择装置及优选顺序控制装置,该资料选择装置用以过滤事件记录及制程资料,以将不必要之资料缓冲、并将必要资料传递至该中央主机;该优先顺序控制装置用以决定该生产设备与该中央主机间交谈讯息之优先顺序、并控制复数个指令与回应之传递顺序与时机。11.如申请专利范围第10项之资料管理系统,其中上述之资料管理设备并可与该生产设备之周边支援系统相连结,以监控该周边支援系统之状态。12.如申请专利范围第11项之资料管理系统,其中上述之周边支援系统至少包含气体供应系统、制程所需之液体供应系统、以及温度控制系统其中之一或其组合。13.如申请专利范围第10项之资料管理系统,其中上述之处理装置更包含一资料格式转换装置,用以转换不同通讯标准之资料。14.如申请专利范围第10项之资料管理系统,其中上述之资料管理设备更包含一显示装置与该处理装置相连,用以显示操作资讯。15.如申请专利范围第14项之资料管理系统,其中上述之处理装置并与该显示装置相配合,以显示监控事件记录及制程资料及图表。16.如申请专利范围第10项之资料管理系统,其中上述之该生产设备至少包含半导体制程反应机台。17.如申请专利范围第10项之资料管理系统,其中上述之该生产设备与该中央主机间系以半导体设备通讯标准相互传递资料。18.一种工厂自动化资料管理方法,至少包含:撷取来自一生产设备之事件记录及制程资料;识别事件记录及制程资料,并过滤事件记录及制程资料,以传递部分资料至控制该生产设备动作之一中央主机;撷取来自该中央主机之指令;以及识别并过滤指令,以传递部分指令至该生产设备。19.如申请专利范围第18项之资料管理方法,更包含记录该中央主机及该生产设备之所有传递资料。20.如申请专利范围第18项之资料管理方法,更包含缓冲来自生产设备之事件记录及制程资料,以于该中央主机具有处理资料时加以传递。21.如申请专利范围第18项之资料管理方法,更包含缓冲来自该中央主机之指令,以于该生产设备处理条件符合时执行该指令。22.如申请专利范围第18项之资料管理方法,系使用一资料管理设备于该生产设备与该中央主机之间,用以控制及过滤该生产设备与该中央主机间之资料传递,并记录该生产设备之事件记录及制程资料。23.如申请专利范围第22项之资料管理方法,其中上述之资料管理设备至少包含:资料记录装置,用以记录该生产设备与该中央主机间传递之资料、以及该生产设备之事件记录及制程资料;以及处理装置与该资料记录装置相连接,包含资料选择装置及优先顺序控制装置,该资料选择装置用以过滤事件记录及制程资料,以将不必要资料缓冲、并将必要资料传递至该中央主机;该优先顺序控制装置用以决定该生产设备与该中央主机间交谈讯息之优先顺序、并控制复数个指令与回应之传递顺序与时机。24.如申请专利范围第23项之资料管理方法,其中上述之资料管理设备更包含一显示装置与该处理装置相连,用以显示操作资讯。25.如申请专利范围第24项之资料管理方法,其中上述之处理装置并与该显示装置相配合,以显示监控事件记录及制程资料及图表。26.如申请专利范围第18项之资料管理方法更包含监控该生产设备及周边支援系统状态之步骤。27.如申请专利范围第26项之资料管理系统,其中上述之周边支援系统至少包含气体供应系统、制程所需之液体供应系统、以及温度控制系统其中之一或其组合。28.如申请专利范围第18项之资料管理方法,更包含于上述之识别事件记录及制程资料、以及上述之识别并过滤指令步骤中,决定该生产设备与该中央主机间交谈讯息之优先顺序、并控制复数个指令与回应之传递顺序与时机。29.如申请专利范围第18项之资料管理方法,更包含于上述之识别事件记录及制程资料、以及上述之识别并过滤指令步骤中,进行资料格式之转换,以转换不同通讯标准之资料。30.如申请专利范围第18项之资料管理方法,其中上述之该生产设备至少包含半导体制程反应机台。31.如申请专利范围第18项之资料管理方法,其中上述之该生产设备与该中央主机间系以半导体设备通讯标准相互传递资料。图式简单说明:第一图显示传统半导体工厂中部分生产系统的连接示意图。第二图显示本发明中工厂自动化之资料管理系统的连接示意图。第三图显示本发明中工厂自动化之资料管理系统中、资料管理设备的功能方块示意图。第四图显示本发明中工厂自动化之资料管理系统中、显示制程资料及图表等的示意图。 |
