| 发明名称 |
METHOD FOR ANISOTROPIC ETCHING |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1099244(A2) |
申请公布日期 |
2001.05.16 |
| 申请号 |
EP19990934921 |
申请日期 |
1999.07.23 |
| 申请人 |
SURFACE TECHNOLOGY SYSTEMS LIMITED |
发明人 |
BHARDWAJ, JYOTI, KIRON |
| 分类号 |
H01L21/302;B01J12/00;B01J19/24;B81C1/00;C01B7/24;C07C17/00;H01L21/306;H01L21/3065;H01L21/311;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321 |
主分类号 |
H01L21/302 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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