发明名称 Halbleitervorrichtung, insbesondere statischer Speicher, und Verfahren zur Herstellung derselben
摘要
申请公布号 DE19731956(C2) 申请公布日期 2001.04.26
申请号 DE19971031956 申请日期 1997.07.24
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO 发明人 ISHIDA, MASAHIRO
分类号 H01L27/04;H01L21/822;H01L21/8244;H01L27/11;H01L29/786;(IPC1-7):H01L27/11;H01L21/824 主分类号 H01L27/04
代理机构 代理人
主权项
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