发明名称 METHOD OF FABRICATING IRIDIUM-BASED MATERIALS AND STRUCTURES ON SUBSTRATES, AND IRIDIUM SOURCE REAGENTS THEREFOR
摘要
申请公布号 KR20010031981(A) 申请公布日期 2001.04.16
申请号 KR1020007005091 申请日期 2000.05.10
申请人 发明人
分类号 C23C16/18 主分类号 C23C16/18
代理机构 代理人
主权项
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