| 摘要 |
<p>Die Erfindung schafft einen mikromechanischen Drehratensensor mit: einem Substrat (100), welches eine auf dem Substrat (100) vorgesehene Verankerungseinrichtung (21; 21') aufweist; und einer ringförmigen Schwungmasse (10), die über eine Biegefedereinrichtung (30, 31; 32, 33) derart mit der Verankerungseinrichtung (21; 21'; 25`) verbunden ist, dass der Verbindungsbereich mit der Verankerungseinrichtung (21; 21'; 25') im wesentlichen im Ringzentrum liegt, so dass die ringförmige Schwungmasse (10) um eine senkrecht zur Substratoberfläche liegende Drehachse (z) und um mindestens eine parallel zur Substratoberfläche liegende Drehachse (y) elastisch aus ihrer Ruhelage auslenkbar ist. Die Verankerungseinrichtung (21; 21'; 25') weist zwei gegenüberliegende fest mit dem Substrat (100) verbundene Sockel (21; 21') auf, die über eine Brücke (25') miteinander verbunden sind. An den gegenüberliegenden Seiten der Brücke (25') ist jeweils eine V-förmige Biegefeder (30, 31; 32, 33) der Biegefedereinrichtung (30, 31; 32, 33) derart angebracht, dass sich der Scheitel an der Brücke (25') befindet und die Schenkel zur Schwungmasse (10) hin unter einem Öffnungswinkel aufgespreizt sind.</p> |
