| 摘要 |
<p>L'invention concerne un procédé de fabrication consistant à traiter une pièce (100) dans une phase de traitement (105), à mesurer (110) une dimension critique de caractéristiques (205) formées sur ladite pièce à l'aide d'une structure d'essai (200) également formée sur cette pièce (100), ladite structure d'essai (200) comprenant plusieurs caractéristiques (205), et formant un signal de sortie (125) correspondant aux mesures de dimensions critiques (120). Le procédé consiste à réintroduire un signal de commande (135, 155) en fonction du signal de sortie (125) de façon à ajuster le traitement exécuté dans la phase de traitement (105), si le signal de sortie (125) correspondant aux mesures de dimensions critiques (120) indique qu'une valeur de tolérance prédéterminée a été dépassée (130, 150).</p> |
