| 发明名称 |
OXYGEN-ARGON GAS MIXTURE FOR PRECLEANING IN VACUUM PROCESSING SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1086260(A1) |
申请公布日期 |
2001.03.28 |
| 申请号 |
EP19990921909 |
申请日期 |
1999.05.11 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS, INC. |
发明人 |
EGERMEIER, JOHN;LEWIS, JOHN |
| 分类号 |
B08B7/00;C23C14/02;C23C16/02;C23C16/44;H01J37/32;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/00 |
主分类号 |
B08B7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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