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发明名称 METHOD OF FORMING PATTERN OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100574999(B1) 申请公布日期 2006.04.24
申请号 KR20040101761 申请日期 2004.12.06
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 YOON, JIN YOUNG;WOO, SANG GYUN;OH, MIN JEONG
分类号 H01L21/027;H01L21/304 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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