掩模式只读存储器的程序化方法

摘要

一种有较大制造窗口的掩模式只读式存储器的程序化方法,其特征在于将原本用于离子注入程序化方法的程序掩模A,利用逻辑运算的原理一分为两个图案极为平均的C掩模及D掩模,而后以此C掩模及D掩模的与来取代原来的A掩模,由于C掩模及D掩模的与等于原程序掩模A,因此程序化后所得的结果,仍然等同于单独于使用A掩模,而由于C掩模及D掩棋本身图案的平均性;因此对于调整曝光时的参数而言,便能有较单独使用A掩模时更大的制造窗口,且增加制造上的成功率。

主权项

1．一种增大制造窗口的方法，该方法包含如下步骤：(1)取一A掩模；(2)将该A掩模的图形转为一程序码A；(3)设一转译码B，该转译码B为“0”，“1”交错的程序码；(4)将该程序码A与该转译码B，互取或，而得到一程序码C；(5)将该程序码A与该转译码B的反转码B′(inversion code)，互取或，而得到程序码D；(6)依该程序码C制作出一C掩模；(7)依该程序码D制作出一D掩模；(8)利用该C掩模和该D掩模的与，得到与单独使用该A掩模相同的曝光结果；由此，利用上述步骤，得以得到两组图案平均的该C掩模及该D掩模，以增大制造窗口。