发明名称 Process for coating a solution onto a substrate
摘要 <p>The invention relates to an apparatus and a method of using the apparatus for applying a substantially uniform coating of solution onto a substrate. The apparatus includes a substrate support having a compressible surface. &lt;IMAGE&gt;</p>
申请公布号 EP1080791(A2) 申请公布日期 2001.03.07
申请号 EP20000307487 申请日期 2000.08.31
申请人 E.I. DU PONT DE NEMOURS AND COMPANY 发明人 PRINCIPE, FRANK SANTO;INNOCENZO, JEFFREY GLENN
分类号 G03F7/16;B05C1/02;B05C11/02;B05D3/00;G03F3/10;(IPC1-7):B05C11/02 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
主权项
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