亚微米光刻物镜的调整固定结构

摘要

本实用新型公开了一种亚微米光刻物镜的调整固定结构,它克服了现有光刻物镜结构不能进行轴向和径向位置调整,因此调整精度低的缺点。该结构由多节镜筒用连接件依次连接而成,镜筒中各个带有光学透镜元件的透镜框组件,分别单独安装在内侧壁各自对应的台阶上,能依次逐个逐节装调固定,后调整透镜框组件不会影响前已调整固定好的透镜框组件位置精度,从而具有调整固定精度高又长期稳定不变的特点。

主权项

1、一种亚微米光刻物镜的调整固定结构，由镜筒内安装带有光学透镜元件的透镜框组件构成，其特征在于：其镜筒由镜筒(3)、镜筒(7)、镜筒(11)、镜筒(17)用连接件依次连接而成，镜筒中的各个透镜框组件(1)、(2)、(4)、(5)、(6)、(8)、(9)、(10)、(12)、(13)、(14)、(15)、(16)、(18)、(19)分别单独安装在镜筒(3)、镜筒(7)、镜筒(11)和镜筒(17)内侧壁各自对应的台阶上，镜筒外装有经过精密恒温的上水套(21)和下水套(23)。