发明名称 Fabrication of ceramic films
摘要
申请公布号 GB0030579(D0) 申请公布日期 2001.01.31
申请号 GB20000030579 申请日期 2000.12.15
申请人 CRANFIELD UNIVERSITY 发明人
分类号 C23C18/12;C23C24/08;C23C26/00;H01L21/314;H01L21/316 主分类号 C23C18/12
代理机构 代理人
主权项
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