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经营范围
发明名称
Fabrication of ceramic films
摘要
申请公布号
GB0030579(D0)
申请公布日期
2001.01.31
申请号
GB20000030579
申请日期
2000.12.15
申请人
CRANFIELD UNIVERSITY
发明人
分类号
C23C18/12;C23C24/08;C23C26/00;H01L21/314;H01L21/316
主分类号
C23C18/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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