| 发明名称 |
MEANS FOR CONTROLLING TARGET EROSION AND SPUTTERING IN A MAGNETRON |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP1072055(A1) |
申请公布日期 |
2001.01.31 |
| 申请号 |
EP19990920714 |
申请日期 |
1999.04.14 |
| 申请人 |
SINVACO N.V. |
发明人 |
DE BOSSCHER, WILMERT;LIEVENS, HUGO |
| 分类号 |
C23C14/35;H01J37/34;(IPC1-7):H01J37/34 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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