发明名称 LOW DEFECT DENSITY SILICON
摘要
申请公布号 KR20010006229(A) 申请公布日期 2001.01.26
申请号 KR1019997009309 申请日期 1999.10.09
申请人 发明人
分类号 C30B15/00 主分类号 C30B15/00
代理机构 代理人
主权项
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