发明名称 ORGANIC REMOVAL PROCESS
摘要
申请公布号 EP1070345(A1) 申请公布日期 2001.01.24
申请号 EP19990914295 申请日期 1999.03.30
申请人 FSI INTERNATIONAL 发明人 CARTER, LAWRENCE, E.;NELSON, STEVE, L.
分类号 G03F7/42;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/311;(IPC1-7):H01L21/311 主分类号 G03F7/42
代理机构 代理人
主权项
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