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发明名称 Semiconductor device having a low k material within a shallow trench isolation and a method of manufacture
摘要
申请公布号 GB0030010(D0) 申请公布日期 2001.01.24
申请号 GB20000030010 申请日期 2000.12.08
申请人 LUCENT TECHNOLOGIES INC 发明人
分类号 H01L21/76;H01L21/312;H01L21/762 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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