脉冲激光淀积装置

摘要

本实用新型涉及一种脉冲激光淀积装置。由真空室、转靶机构、样品架、加热炉、离子枪和真空抽气装置组成,其中真空室为球形,转靶机构和样品架分别安装在真空室里,相对设置,在一个中心线上,所述真空室球体上设有多个法兰窗,其中两个法兰窗在激光入射束与转靶机构靶面相交45°角处,于样品架两侧,安装离子枪于转靶机构一侧的真空室球体上,加热炉设在样品架上的两个磁力轴间,真空室底部与真空抽气装置接通。其设计合理、工作方便,效率高、噪声低。

主权项

1.一种脉冲激光淀积装置，由真空室(1)、转靶机构(2)、样品架(3)、加热炉(4)、离子枪(5)和真空抽气装置(6)组成，其特征在于：其中所述真空室(1)为球形，所述转靶机构(2)和样品架(3)分别通过法兰安装在真空室(1)里，其样品架(3)与转靶机构(2)相对放置，并在一个中心线上，所述真空室(1)球体上设有多个法兰窗，其中两个法兰窗在激光入射束与转靶机构(2)靶面相交45°角处，于样品架(3)两侧，另安装一把清洗样品用离子枪(5)于转靶机构(2)一侧的真空室(1)球体上，所述加热炉(4)通过穿过真空室(1)球体上的法兰设在样品架(3)两个磁力轴(31)中间，真空室(1)底部与真空抽气装置(6)接通。