| 发明名称 |
STRUCTURE MICRO-USINEE A MEMBRANE DEFORMABLE ET SON PROCEDE DE REALISATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2786565(B1) |
申请公布日期 |
2000.12.22 |
| 申请号 |
FR19980014969 |
申请日期 |
1998.11.27 |
| 申请人 |
COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE |
发明人 |
JAUSSAUD CLAUDE;CLERC JEAN FREDERIC |
| 分类号 |
B81B3/00;G01L9/00;(IPC1-7):G01L9/06;H01L41/22;H01L21/62 |
主分类号 |
B81B3/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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