Process and apparatus for drying wafer-like objects

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren zum Herstellen eines Trocknungsgases zum Trocknen eines oder mehrerer scheibenförmiger Gegenstände, bei dem ein Trägergas und eine Wirksubstanz gemischt werden sowie ein Trocknungsverfahren das das so hergestellte Trocknungsgas verwendet. Weiters betrifft die Erfindung eine Einrichtung zur Herstellung eines Trocknungsgases, die geeignet ist ein Trägergas und eine Wirksubstanz miteinander zu mischen. <IMAGE>