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发明名称 APPARATUS FOR WAFER TREATMENT
摘要
申请公布号 KR100272652(B1) 申请公布日期 2000.12.01
申请号 KR19970002502 申请日期 1997.01.28
申请人 DAI NIPPON SCREEN MFG. CO., LTD. 发明人 NAKAMURA, TSUGUO;HIROOKA, TSUTOMU
分类号 H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
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