发明名称 APPARATUS FOR CORRECTING POSITION OF A SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100269051(B1) 申请公布日期 2000.12.01
申请号 KR19980024246 申请日期 1998.06.19
申请人 NEXT INSTRUMENT CO., LTD 发明人 IN, HAE JIN
分类号 H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
地址