| 摘要 |
<p>본 발명은, 화학적으로 결합된 형태로 광 흡수성 착색 물질을 함유하며, 특정 파장의 광선에 대해 높은 흡수도를 나타내고 기판에 대한 접착성과 박막 형성능이 탁월하며 내식막에 대해 독립적이며 광내식막용 용매 속에서 가용성이나 베이킹에 의해 불용성으로 되는 광흡수성 중합체, 당해 광흡수성 중합체를 함유하며 광흡수막을 형성하는 조성물 및 이 조성물로부터 제조된 광흡수막[예: 반사방지막]에 관한 것이다. 당해 중합체는 측쇄에 케토기 및 2가 기[바람직하게는 메틸렌]를 갖는 단량체로부터 유도된 반복 단위 및 쇄 골격에 직접 또는 연결기를 통해 결합된 유기 발색단을 가지며 특정 파장의 광선을 흡수하는 단량체로부터 유도된 반복 단위를 적어도 함유하는 공중합체이다. 광흡수막[예: 반사방지막]은 알콜, 방향족 탄화수소, 케톤, 에스테르 등으로부터 선택된 용매 속에 중합체를 용해시키고, 생성된 용액을 웨이퍼에 도포하고 웨이퍼를 베이킹시킴으로써 형성될 수 있다. 또한, 정재파(standing wave)의 영향이 배제된 미세 내식막 패턴은 화학적으로 증폭가능한 내식막을 형성된 광흡수막 위에 도포하고 생성 적층물을 원자외선에 노출시키고 이를 현상함으로써 생성될 수 있다.</p> |
