| 发明名称 |
Film deposition apparatus of artificial lattice multi-layered film |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20000071092(A) |
申请公布日期 |
2000.11.25 |
| 申请号 |
KR19997007379 |
申请日期 |
1999.08.13 |
| 申请人 |
null, null |
发明人 |
오나카가즈히로;마에카와스미오;야마모토시게루;오카모토마사후미 |
| 分类号 |
C23C14/35;H01F10/08;H01F10/32;H01F41/18;H01F41/30;H01J37/34;H01L43/12 |
主分类号 |
C23C14/35 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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