发明名称 |
MICROELECTROMECHANICALLY TUNABLE, CONFOCAL, VERTICAL CAVITY SURFACE EMITTING LASER AND FABRY-PEROT FILTER |
摘要 |
|
申请公布号 |
EP1053574(A2) |
申请公布日期 |
2000.11.22 |
申请号 |
EP19980964965 |
申请日期 |
1998.12.28 |
申请人 |
CORETEK, INC. |
发明人 |
TAYEBATI, PARVIZ;AZIMI, MASUD;WANG, PEIDONG;VAKHSHOORI, DARYOOSH |
分类号 |
G01J3/26;G02B6/12;G02B6/42;G02B26/00;G02B26/08;H01L29/06;H01S5/14;H01S5/183;(IPC1-7):H01S1/00 |
主分类号 |
G01J3/26 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|