发明名称 METHOD AND DEVICE FOR MEASURING DEFECT OF CRYSTAL ON CRYSTAL SURFACE
摘要
申请公布号 KR20000064554(A) 申请公布日期 2000.11.06
申请号 KR1019980706960 申请日期 1998.09.04
申请人 发明人
分类号 G01B11/30;G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
地址