| 发明名称 |
METHOD OF DETECTING COMMA OF PROJECTION OPTICAL SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR100268639(B1) |
申请公布日期 |
2000.11.01 |
| 申请号 |
KR19950019561 |
申请日期 |
1995.07.05 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
SHINAGANO, HIROHICO;IZUMI;MOHOSHI HIROSHI |
| 分类号 |
G02B27/18;G03F7/20;G03F9/00;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 |
主分类号 |
G02B27/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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