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Vorrichtung (1) zur Behandlung von Gegenständen, insbesondere Silizium-Scheiben (2), mit einem Medium (3), umfassend einen Behälter (4) zur Aufnahme des Mediums (3), eine zumindest teilweise in dem Behälter (4) angeordnete, drehbare Träger-Einrichtung (5) zur Aufnahme der zu behandelnden Gegenstände und eine in mindestens einem Lager (13, 14) gelagerte, mit der Träger-Einrichtung (5) verbundene, drehantreibbare Welle, wobei das Lager (13, 14), ein mit der Welle verbundenes erstes Lager-Teil (22) und ein zum ersten Lager-Teil (22) benachbartes, ein supraleitendes Material enthaltendes zweites Lager-Teil (24) aufweist, wobei das erste Lager-Teil (22) gegenüber dem zweiten Lager-Teil (24) durch magnetische Kräfte beabstandet gehalten wird.
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