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发明名称 DIFFUSION FURNACE FOR FABRICATION SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100268411(B1) 申请公布日期 2000.11.01
申请号 KR19980028401 申请日期 1998.07.14
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, KYU-CHIL;PARK, BONG-HEE
分类号 H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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