| 主权项 |
1.一种用以控制配置于半导体制造设备管理系统内之设备之紧急状态的方法,该方法包含下列步骤:判定在一主电脑和该设备间的连线通讯是否被恢复,且如果判定该连线通讯被恢复,则从该连线通讯被恢复设备接收紧急状态资料;搜寻该紧急状态资料并判定该连线通讯被恢复设备是否在一警告状态;如果判定该连线通讯被恢复设备系在警告状态,则判定该警告状态是否为一临界状态;如果判定该警告状态是该临界状态,则改变该连线通讯被恢复设备之一可变ID之一关键値,将具有该经改变关键値的该可变ID载入一设备控制讯息上,并将带有具有该经改变关键値的该可变ID载于其上之该设备控制讯息下载入该连线通讯被恢复设备以关闭该连线通讯被恢复设备;及如果判定该警告状态不是该临界状态,则判定用于将一批次引入该连线通讯被恢复设备的一讯号是否被输入,且如果该讯号被输入,则将一警告讯息下载入一部O/I PC。2.依据申请专利范围第1项之方法,其中该设备控制讯息系一势流功能讯息。3.依据申请专利范围第2项之方法,其中该设备控制讯息系S2F21或S2F41。4.依据申请专利范围第1项之方法,其中该可变ID系一设备常数ID(ECID)。图式简单说明:第一图系一习用半导体制造设备管理系统之一结构图;第二图系用于在其中实施本发明的一半导体制造设备管理系统之一结构图;及第三图系根据本发明用以控制配置于一半导体制造设备管理系统内之设备之紧急状态的一方法之流程图; |
