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发明名称 PRECLEANING STEP PRIOR TO METALLIZATION FOR SUB-QUARTER MICRON APPLICATION
摘要
申请公布号 EP1042795(A1) 申请公布日期 2000.10.11
申请号 EP19980956498 申请日期 1998.11.02
申请人 APPLIED MATERIALS, INC. 发明人 SUBRAHMANYAN, SUCHITRA;CHEN, LIANG-YUH;MOSELY, RODERICK, CRAIG
分类号 C23C14/02;C23C16/02;H01L21/285;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/311;H01L21/321 主分类号 C23C14/02
代理机构 代理人
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