发明名称 a wafer carrier
摘要
申请公布号 GB2348634(A) 申请公布日期 2000.10.11
申请号 GB20000016655 申请日期 1997.07.11
申请人 * FLUOROWARE, INC 发明人 DAVID L * NYSETH
分类号 H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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